X射線熒光光譜儀各種元素的核外電子軌道位能互不相同，因此，受激發后發出的X射線光子能量互不相同，即每種元素發射該元素原子所*能量的X射線，代表了該元素的特征，因此稱作該元素的特征X射線。每種元素的特征X射線具有其特定的能量，檢測到此種能量的X射線，即可以確定物質樣品中有該元素存在。

　　X射線熒光光譜儀的維護保養：

　　1、昂貴的部分是高壓X射線光管，它是儀器的要點部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其最佳冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過30℃，超過35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水（必須確保該冷卻水的電導率＜2μs／cm），以防高壓擊穿導致x射線光管損壞。

　　2、分光晶體是具有把X射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。

　　3、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質變壞。

　　4、真空系統是重要組成部分。對于真空泵，主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色，就說明油質不正常，應該立即更換泵油。

　　X射線熒光光譜儀被測試樣進入光譜儀后，受到來自X光管發出的X射線光束激發，產生X熒光，X射線熒光是指用X射線管或其它合適的輻射源照射物質時，使組成物質的原子產生具有特征性的一種次級X射線，X光管發射的光譜是有靶材元素（Rh銠）的特征譜和連續譜（或稱白色輻射）所組成，來自樣品的輻射是由X光管光譜和樣品中各元素的特征譜所組成的混合光，這種混合光被引入測角儀所組成的色散系統分光，分光后所得的譜線和被測樣品中存在的元素有關。